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更多>>石英晶振监控的优缺点及测厚仪
来源：http://www.ftklrm.cn 作者：康比电子 2018年02月27
石英晶振体作为频率元件、滤波器,振荡元件已广泛应用在广播,通信,电子测量、航空、航天等方面。其发展历史只有短短几十年,美国是发展石英晶体最早的国家之一,最近一、二十年来,由于PCS、GSM、GPS、PDC、CDMA等诸多移动通信和基站的需求,石英晶体振荡器中的石英晶体谐振器不再是单个元件。它已发展成为组件,而且几乎全部以集成化、全集成化、全数字化形式作成振荡器展现出来,振荡器的体积比过去单个谐振器的体积缩小了数倍乃至数十倍。要制作出一个合格的石英晶振需要大大小小很多工序。
石英晶体振荡测厚仪
膜厚控制仪用电子组件引起晶振片的高速振动,约每秒6百万次(6MHz),镀膜时,测试每秒钟振动次数的改变,从所接受的数据中计算膜层的厚度。为了确保晶振片以6MHz的速度振动,在真空室外装有“振荡器”,与晶控仪和探头接口连接,振荡器通过迅速改变给晶振片的电流使晶振片高速振动。
一个电子信号被送回晶控仪。晶控仪中的电路收到电子信号后,计算晶振片的每秒振速。这个信息接着传送到个微处理器,计算信息并将结果显示在晶控仪上：
（1)沉积速率(Rate) (埃/秒)
（2)已沉积的膜厚( Thickness) (埃)
（3)晶振片的寿命(Lie) (%)
（4)总的镀膜时间(Time) (秒)
更加精密的设备可显示沉积速率与时间的曲线和薄膜类型。
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石英晶振监控的优缺点
◆优点:
1.晶振法是目前唯一可以同时控制膜层厚度和成膜速率的方法。
2.输出为电讯号,很容易用来做制程的自动控制。
3.对于厚度要求不严格的滤光片可以利用作为自动制程镀膜机。
4.镀金属时,石英晶振监控较光学监控来的方便精确。
◆缺点
1.厚度显示不稳定。
2.只能显示几何厚度,不能显示折射率。
3.一般精密光学镀膜厚度只用做参考,一般用作镀膜速率的控制。
◆所以一台镀膜设备往往同时配有石英晶体振荡器监控法和光学膜厚监控法两套监控系统,两者相互补充以实现薄膜生产过程中工艺参数的准确性和重复性,提高产品的合格率。更多技术资料以及晶振产品解决方案可联系康比电子
石英晶体振荡测厚仪
膜厚控制仪用电子组件引起晶振片的高速振动,约每秒6百万次(6MHz),镀膜时,测试每秒钟振动次数的改变,从所接受的数据中计算膜层的厚度。为了确保晶振片以6MHz的速度振动,在真空室外装有“振荡器”,与晶控仪和探头接口连接,振荡器通过迅速改变给晶振片的电流使晶振片高速振动。
一个电子信号被送回晶控仪。晶控仪中的电路收到电子信号后,计算晶振片的每秒振速。这个信息接着传送到个微处理器,计算信息并将结果显示在晶控仪上：
（1)沉积速率(Rate) (埃/秒)
（2)已沉积的膜厚( Thickness) (埃)
（3)晶振片的寿命(Lie) (%)
（4)总的镀膜时间(Time) (秒)
更加精密的设备可显示沉积速率与时间的曲线和薄膜类型。
石英晶振监控的优缺点
◆优点:
1.晶振法是目前唯一可以同时控制膜层厚度和成膜速率的方法。
2.输出为电讯号,很容易用来做制程的自动控制。
3.对于厚度要求不严格的滤光片可以利用作为自动制程镀膜机。
4.镀金属时,石英晶振监控较光学监控来的方便精确。
◆缺点
1.厚度显示不稳定。
2.只能显示几何厚度,不能显示折射率。
3.一般精密光学镀膜厚度只用做参考,一般用作镀膜速率的控制。
◆所以一台镀膜设备往往同时配有石英晶体振荡器监控法和光学膜厚监控法两套监控系统,两者相互补充以实现薄膜生产过程中工艺参数的准确性和重复性,提高产品的合格率。更多技术资料以及晶振产品解决方案可联系康比电子
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